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簡(jiǎn)要描述:chroma 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng),可同時(shí)檢測(cè)晶圓正反兩面大可檢測(cè) 8 吋晶圓 (檢測(cè)區(qū)域達(dá)10 吋范圍 )
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品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
chroma 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)
主要特色:可同時(shí)檢測(cè)晶圓正反兩面大可檢測(cè) 8 吋晶圓 (檢測(cè)區(qū)域達(dá)10 吋范圍 )可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測(cè)項(xiàng)目上片后晶圓自動(dòng)對(duì)位機(jī)制自動(dòng)尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測(cè)規(guī)格瑕疵檢出率高達(dá) 98%可結(jié)合上游測(cè)試機(jī)晶粒資料,合并后上傳至下一道制程設(shè)備提供檢測(cè)報(bào)表編輯器,使用者可自行選擇適用資料并進(jìn)行分析
Chroma 7936晶圓雙面檢測(cè)機(jī)為自動(dòng)化的切割后 晶粒檢測(cè)機(jī),可以同時(shí)間進(jìn)行正反兩面的晶粒外 觀(guān)檢查。使用良好的打光技術(shù),可以清楚的辨識(shí) 晶粒的外觀(guān)瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及 取像模式,使得7936可以適用于新的制程如垂 直結(jié)構(gòu)晶?;蚴歉簿ЬЯ!S捎谑褂玫母咚傧鄼C(jī)以及自行開(kāi)發(fā)之檢測(cè)演算 法,7936可以在4.5分鐘內(nèi)檢測(cè)完2 吋 LED晶圓, 換算為單顆處理時(shí)間為35msec。7936同時(shí)也提 供了自動(dòng)對(duì)焦與翹曲補(bǔ)償功能,以克服晶圓薄 膜的翹曲與載盤(pán)的水平問(wèn)題。7936可配置2種不 同倍率,使用者可依晶?;蜩Υ贸叽邕x擇檢測(cè) 倍率。系統(tǒng)搭配的小解析度為0.7um,一般來(lái) 說(shuō),可以檢測(cè)2um左右的瑕疵尺寸。系統(tǒng)功能 在擴(kuò)膜之后,晶粒或晶圓可能會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的 排列,7936也提供了搜尋及排列功能以轉(zhuǎn)正晶 圓。此外,7936擁有人性化的使用介面可降低 學(xué)習(xí)曲線(xiàn),所有的必要資訊,如晶圓分布、瑕疵 區(qū)域、檢測(cè)參數(shù)及結(jié)果等,均可清楚地透過(guò)軟體 介面呈現(xiàn)。瑕疵資料分析 所有的檢測(cè)結(jié)果均會(huì)被記錄下來(lái),而不僅僅是 良品/不良品的結(jié)果。這有助于找出一組佳參 數(shù),達(dá)到漏判與誤判的平衡點(diǎn)。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產(chǎn)生之趨勢(shì),并回饋給制程人 員進(jìn)行改善。綜合上述說(shuō)明,Chroma 7936是晶圓檢測(cè)制程考 量成本與效能的佳選擇。
7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)
深圳市美佳特科技有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“美佳特")成立于2010年,致力于光通訊測(cè)試、通用電子測(cè)量及5G測(cè)試服務(wù)。美佳特以“無(wú)線(xiàn)溝通,溝通無(wú)極限 "企業(yè)使命,業(yè)務(wù)聚焦于精密測(cè)試測(cè)量?jī)x器的租賃、銷(xiāo)售、維護(hù)、計(jì)量及測(cè)試環(huán)境搭建等一站式服務(wù)。chroma 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)?
主營(yíng)產(chǎn)品:示波器主機(jī)和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號(hào)源、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時(shí)域反射儀、可調(diào)諧激光源、光功率計(jì)、光衰減器等。合作品牌:安捷倫、是德、泰克、安立、愛(ài)得萬(wàn)、安騰、力科、馬可尼(IFR)、R&S、EXFO等。
主推:Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形發(fā)生器,Anritsu MS9740B/A 光譜分析儀,YOKOGAWA AQ6370D/E 光譜分析儀,keysight N1092A/C 采樣示波器,keysight E8257D 模擬信號(hào)發(fā)生器,keysight E5071C 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀
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